2．精密加工 マイクロマシン／ナノマシン
マイクロマシン ( Micro machine ) は、μｍサイズの機械をさして呼ぶ。 ナノマシン ( Nano machine ) は、nｍサイズの機械をさして呼ぶ。マイクロマシンは半導体技術を用いてMEMS（メムス、Micro Elec...続きを読む
精密加工
2．精密加工 2．精密加工 マイクロメカニズム
マイクロメカニズム ( Micro-mechanisms ) は、従来のサイズに比べて小型化されることにより新たな特性が付与されたり、性能が向上する機械システムのことを指す。このため、1mm以下の機械システムだけではなく数cmサイズからnｍ...続きを読む
1．設計・生産システム メッシュ処理
Fig. 1 メッシュ処理 ( Mesh Processing ) とは、幾何形状・領域を一次近似・表現するポリトープ ( polytope ) 網を計算処理する事である。ここでポリトープとは、一般化された図形であり、例えば零次元から三次元...続きを読む
2．精密加工 ループ剛性
ループ剛性 ( Loop stiffness ) とは、工具－工作機械－工作物で構成される力学的閉ループ構造の剛性である。主に工具－工作物間のループ剛性 ( Tool-workpiece loop stiffness ) のことを指す。 詳...続きを読む
2．精密加工 レーザスライシング
レーザ光線が材料を透過する特性と、吸収される特性を同時に利用することで、材料内部にレーザ照射による変質層を形成し、これを基に剥離させる加工法をレーザスライシングと呼ぶ。ダイヤモンドやSiC、GaNなどの半導体基板材料、レンズ用ガラス材料など...続きを読む
2．精密加工 ローカルウエットエッチング法(LWE)
ローカルウエットエッチング法 ( Local Wet Etching;LWE ) は、エッチャントの供給部と吸引部を同軸状に配したノズルを用いて局在的な液相エッチング領域を形成し、ノズルもしくは加工物を速度制御走査することによって形状創成を...続きを読む
2．精密加工 ワイヤ放電研削
ワイヤ放電研削 (Wire electro-discharge grinding, 略称WEDG, ウェッジ) とは、ワイヤを電極として用いる放電加工の一種である。 詳細 図１ WEDG 放電加工の一方式で、ガイドに沿って移動するワイヤの、...続きを読む
2．精密加工 ワイヤ放電ミーリング法
ワイヤ放電ミーリング法 ( Wire Electrical Discharge Milling ) とは、ボールエンドミル形状工具による創成加工において無消耗加工を実現できる方法である。 詳細 図２ 超硬合金に対する走査加工 図１ ワイヤガ...続きを読む