2．精密加工 レーザスライシング
レーザ光線が材料を透過する特性と、吸収される特性を同時に利用することで、材料内部にレーザ照射による変質層を形成し、これを基に剥離させる加工法をレーザスライシングと呼ぶ。ダイヤモンドやSiC、GaNなどの半導体基板材料、レンズ用ガラス材料など...続きを読む
用語
2．精密加工 4．精密計測 レーザトラッピング
レーザトラッピング( Laser trapping ) とは、レーザ光によって物質に作用する光放射圧 ( Optical radiation pressure ) を利用して微小物体を非接触に捕捉・操作する技術の総称である。 詳細 光子の運...続きを読む
1．設計・生産システム レーザフォーミング
レーザフォーミング ( laser forming ) とは、レーザ照射部に生じた熱応力が降伏応力を超える場合に生じる圧縮塑性ひずみによって板材に塑性変形を与える塑性加工法である。 詳細 図1 レーザフォーミングの変形メカニズム(温度勾配メ...続きを読む
4．精密計測 レーザー走査型顕微鏡
レーザー走査型顕微鏡 ( Laser scanning microscope ) とは、光軸方向にセクショニング効果を持つ共焦点顕微鏡の一種である。照明用の光源にレーザー光を使用する。“共焦点レーザー走査型顕微鏡”や単に“レーザー顕微鏡”と...続きを読む
2．精密加工 ローカルウエットエッチング法(LWE)
ローカルウエットエッチング法 ( Local Wet Etching;LWE ) は、エッチャントの供給部と吸引部を同軸状に配したノズルを用いて局在的な液相エッチング領域を形成し、ノズルもしくは加工物を速度制御走査することによって形状創成を...続きを読む
2．精密加工 ワイヤ放電研削
ワイヤ放電研削 (Wire electro-discharge grinding, 略称WEDG, ウェッジ) とは、ワイヤを電極として用いる放電加工の一種である。 詳細 図１ WEDG 放電加工の一方式で、ガイドに沿って移動するワイヤの、...続きを読む
2．精密加工 ワイヤ放電ミーリング法
ワイヤ放電ミーリング法 ( Wire Electrical Discharge Milling ) とは、ボールエンドミル形状工具による創成加工において無消耗加工を実現できる方法である。 詳細 図２ 超硬合金に対する走査加工 図１ ワイヤガ...続きを読む