6．材料・表面プロセス プラズマCVD プラズマCVD ( plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD ) は、種々の機能薄膜の形成に用いられる化学気相成長(CVD)法の一種であり、化学反応を活性化させるエネルギー源として反応...続きを読む 6．材料・表面プロセス用語
2．精密加工 細穴放電加工（細孔） 細穴放電加工 ( Small Hole Electrical Discharge Machining ) とは、放電現象を用いた細穴（細孔）もしくは、微小径の穴あけ加工のことである。ここでの細穴（細孔）の定義は、直径3mm以下の穴とする。図...続きを読む 2．精密加工6．材料・表面プロセス用語
6．材料・表面プロセス